3D共聚焦顯微鏡的工作原理

3D共聚焦顯微鏡是一種用于信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器，拍攝分辨率不低于700萬像素；Z軸行程：50 mm垂直分辨率：＜10nm 水平分辨率： 0.2μm。

　　共聚焦系統的光源為離子激光器或HeNe激光器，光源發出的激光束通過照明針孔后成為點光源P。點光源P通過分東器及如高數值孔徑顯微物鏡的成像系統成像后，在部分透明的被測樣品內形成像點P。從像點P發出的散射光及反射光(波長為λ1)和其他熒光(波長λf>λ1),反方向經過物鏡和分光鏡后，入射到單點探測器。單點探測器由探測器和放置在探測器前的針孔組成，3D共聚焦顯微鏡它可以減少探測器的有效面積。探測器一般使用的是光電倍增管或雪崩光電二極管，探測器接收到的電信號由計算機進行處理。

　　①如果激光束聚焦點的直徑小于針孔的直徑,則P處的針孔可以去掉。

　　②有些材料能自發熒光,有些材料則需要用合適的染料上色。

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